序号
项目
参数标准
检测方式
1
晶体类型
多晶
2
型号/掺杂剂
P/ Boron
3PP Device
3
氧含量
≦ 2.0 X 1018 atoms/cm3
FT-IR
4
碳含量
≦ 1.0 X 1018 atoms/cm3
5
电阻率
0.5-3 Ω·cm
RT-100
6
少数载流子寿命
≧2.0 μs
Semilab:WT-2000D