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8寸多晶硅片
 详细介绍:
 

1

外观

倒角准方片

目视

2

厚度

平均厚度

200 ± 20 μm

200 ± 5 μm

分选机

3

TTV

25.0 μm

分选机

4

边长(对边距)

156.0 ± 0.3 mm

直尺

5

直径

219.0± 1.0 mm

直尺

6

倒角

1.5± 0.5 mm

菲林尺

7

倒角角度

45± 10

角尺

8

直角度

90± 0.2

角尺

9

线痕

 10 μm

分选机、粗糙度仪

10

边缘缺陷

不允许

目视

11

V型缺口

不允许

目视

12

翘曲度

弯曲度

 50.0 μm

 40.0μm

塞尺、分选机

13

表面面状况

无目视可见杂质点、脏污、裂纹、穿孔; 

 
 
 
 
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